IT2

Motivation

Europa und vor allem Deutschland besitzen in der Mikroelektronik besondere Stärken in der Automobil-, Energie-, Sicherheits- und Industrieelektronik. Um die Mikroelektronikkompetenz im Hinblick auf eine breite Digitalisierung zu stärken, fördert die Europäische Kommission gemeinsam mit Mitgliedsstaaten in der Initiative ECSEL Forschungsvorhaben und Pilotlinien. Deutsche Schwerpunkte liegen dabei auf multifunktionalen Elektroniksystemen, energiesparender Leistungselektronik, Design komplexer Systeme sowie Produktionstechnologien.

Ziele und Vorgehen

Das Projekt IT2 zielt darauf ab, grundlegende Aspekte zur Realisierung von integrierten Schaltkreisen (ICs) mit Leitungsbahnabständen von 2 Nanometern zu erforschen und zu demonstrieren. Durch die weitere Reduktion der Strukturgröße und die Erforschung neuer IC-Architekturen sollen Leistungsfähigkeit, Energieeffizienz und Herstellungskosten verbessert werden. Um dies zu erreichen, sollen in IT2 komplexeste dreidimensionale Halbleiterbauelemente mit kleinsten Abmessungen erforscht, neue hochpräzise EUV-Lithographie-Anlagen zu deren Herstellung entwickelt und Messtechnik für die hergestellten Halbleiter-Strukturen entwickelt werden. Diese innovativen ICs sollen die Grundlagen für zukünftige Prozessoren für Mobilfunk, Künstliche Intelligenz (KI) und Verarbeitung großer Datenflüsse darstellen.

Innovationen und Perspektiven

Die Entwicklung neuer Skalierungstechnologien ermöglicht trotz der physikalisch-limitierten geometrischen Miniaturisierung eine Steigung von Rechenleistung und Energieeffizienz. Dadurch werden zukunftsweisende anspruchsvolle Anwendungen ermöglicht, z. B. KI, autonomes Fahren oder die Verarbeitung großer Datenmengen.

Europäische Partner

• Belgien: Applied materials Belgium, imec
• Frankreich: Cadence Design Systems S.A.S., CAMECA, Coventor a LAM company, Ion Beam Services, Laser Systems & Solutions of Europe, Pfeiffer Vacuum, RECIF, Soitec, UNITY Semiconductors
• Großbritannien: SPTS Technologies Limited
• Niederlande: ARCNL, Prodrive Technologies BV, Reden, SmartTip BV, FEI Electronic Optics BV, Nederlandse organisatie voor Toegepast Natuurwetenschappelijk Onderzoek – TNO, Technical University Eindhoven, VDL ETG Technology & Development BV, ASML
• Österreich: EVG
• Romänien: UPB-CSSNT
• Ungarn: SEMILAB

Nicht europäische Partner

• Israel: Applied materials Israel, Bruker Technologies, KLA Israel, Nova