ID2PPAC
Herstellungstechnologien und -prozesse für hochperformante 2-nm-Elektronik
Motivation
Europa und vor allem Deutschland besitzen in der Mikroelektronik besondere Stärken in der Automobil-, Energie-, Sicherheits- und Industrieelektronik. Um die Mikroelektronikkompetenz im Hinblick auf eine breite Digitalisierung zu stärken, fördert die Europäische Kommission gemeinsam mit Mitgliedsstaaten in der Initiative ECSEL Forschungsvorhaben und Pilotlinien. Deutsche Schwerpunkte liegen dabei auf multifunktionalen Elektroniksystemen, energiesparender Leistungselektronik, Design komplexer Systeme sowie Produktionstechnologien.
Ziele und Vorgehen
Im Projekt ID2PPAC werden die Halbleiter-Technologieknoten der nächsten Generation für integrierte Schaltkreise mit Strukturgrößen von 2 nm entwickelt. Dies soll vor allem durch die Entwicklung und Integration ausgewählter Technologielösungen in verschiedenen Bereichen, vor allem der Lithographie- und Masken-Ausrüstung, realisiert werden. Die Anforderungen an den 2-nm-Technologieknoten im Hinblick auf die industrielle Nutzung sind sehr anspruchsvoll. Die Erfüllung der Anforderungen und die Leistungsfähigkeit der entwickelten Technologien sollen im Projekt demonstriert werden. Um das Projektziel zu erreichen, arbeiten die deutschen Partner eng mit europäischen Industrie- und Forschungspartnern zusammen.
Innovationen und Perspektiven
Die Erfüllung der Anforderungen an den 2-nm-Technologieknoten ist nur durch die Entwicklung innovativer Lösungen im Bereich der Lithographie möglich. Dadurch können Deutschland und Europa ihre führende Rolle als Hersteller von Anlagen und Ausrüstung für die Leading-Edge-Mikroelektronikproduktion halten.
Europäische Partner
- Belgien: ICOS Vision Systems NV, Interuniversitair Micro- Electronica Centrum, JSR Micro NV
- Frankreich: CAMECA, Coventor SARL, RECIF Technologies
- Israel: Applied Materials Israel Ltd, Carl Zeiss SMS Ltd., KLA-Tencor corporation, Mellanox Technologies Ltd, Nova Measuring Instruments Ltd
- Niederlande: ASML Netherlands B.V., FEI Electron Optics B.V., Nederlandse Organisatie voor toegepast-natuurwetenschappelijk Onderzoek TNO, Solmates B.V., VDL-ETG Technology & Developments B.V.
- Österreich: EV Group E. Thallner GmbH, Plansee SE
- Spanien: Fundacio Institut de Ciences Fotoniques
- Tschechien: CRYTUR spol.S.R.O., Fyzikální ústav AV ČR