Zuverlässigkeit und Qualität in der Mikroelektronikfertigung durch KI-basierte Fehleranalyse
Das BMBF unterstützt das Ziel des EUREKA-Clusters Xecs, die Position der europäischen Industrie in der Elektronik und der Elektroniksysteme zu stärken und somit die Technologiesouveränität und internationale Wettbewerbsfähigkeit Europas zu verbessern. Es fördert daher deutsche Unternehmen und Forschungseinrichtungen, die sich in bi- und multinationalen Xecs-Verbundprojekten entlang von grenzüberschreitenden Wertschöpfungsketten beteiligen. Besonderes Augenmerk liegt auf Innovationspartnerschaften aus Forschung und Industrie, welche nachhaltige industrielle Innovationen mit großer gesellschaftlicher und ökonomischer Hebelwirkung hervorbringen.
Die Anforderungen an die Zuverlässigkeit moderner Elektroniksysteme werden durch die stetig steigende Komplexität und Integrationsdichte immer stringenter. Das Vorhaben möchte daher neue Methoden der Fehleranalyse entwickeln. Diese umfassen innovative Ansätze der Künstlichen Intelligenz (KI), um die umfangreiche Bild- und Datenanalyse sowie Datenverwaltung beherrschbar zu machen. Zusätzlich wird ein universelles Datenformat entwickelt, dass den Austausch von Informationen zwischen verschiedenen Akteuren unter Berücksichtigung von geistigem Eigentum und Vertraulichkeit ermöglicht. Somit können Entwicklungszeiten entscheidend verkürzt und Entwicklungskosten erheblich reduziert werden.
Eine intelligente Datenanalyse und -verwaltung in der Fehleranalyse birgt ein hohes Potenzial für Effizienzsteigerungen in der Halbleiterfertigung. Das Vorhaben leistet daher einen wichtigen Beitrag zum Erhalt der Elektronikbranche in Europa und zur Sicherung der Kompetenzen. Neue KI-basierte Analysemethoden können darüber hinaus auf andere Branchen übertragen werden.