WireControl
Industrietaugliche Herstellungsprozesse für Nanodraht/ CNT-basierte Sensorik und Elektronik
Motivation
Für einen kontinuierlichen Leistungsfortschritt in der Chiptechnologie und in der Sensorik bedarf es innovativer Ansätze. Die Verwendung von Nano-drähten und Kohlenstoffnanoröhrchen (CNTs) als eindimensionale Leiter ist solch ein neuartiger Ansatz. Es konnten bereits interessante Funktio-nen an einzelnen Bauelementen demonstriert werden, allerdings genügen die zugrundeliegen-den Prozesse nicht den Anforderungen eines modernen Produktionsablaufes.
Ziele und Vorgehen
Im wissenschaftlichen Verbundprojekt WireControl sollen Herstellungs- und Prozesstechnologien für die reproduzierbare Fabrikation großflächiger und regelmäßig angeordneter sowie regelmäßig ausgerichteter Nanodrahtbasierter Sensor-Bauelemente für die Anwendung im großtechnischen Maßstab erforscht und entwickelt werden. Durch die enge Zusammenarbeit experimenteller und theoretischer Forschergruppen soll von einer „Trial-and-Error“-Phase in eine Phase des gezielten Designs und der gezielten Modifikation der Eigenschaften übergegangen werden. Die erarbeiteten Ergebnisse können nicht nur auf alle Arten der Nanodraht/CNT-Sensorik, sondern ebenso für die Nanodraht/CNT-Elektronik genutzt werden.
Innovationen und Perspektiven
Die Innovation liegt in der Schließung der Lücke zwischen den sehr attraktiven Eigenschaften von Nanomaterialien und deren Integration in die gegenwärtige CMOS-Prozesslandschaft durch industrietaugliche Prozesse. Es werden Technologieschritte entwickelt und evaluiert, die die deut-sche Industrie zur Anwendung und Umsetzung in Produkte benötigt. Damit soll dem Standort Deutschland ein wichtiger Innovationsschub gegeben werden.