VIDaP

Neues Zeitalter für die Herstellung von oberflächenemittierenden Lasern in Europa

VCSEL (Mitte) sind künftige Schlüsselkomponenten z.B. in der Datenkommunikation, in industriellen Heizprozessen und 3D- Kamerasystemen© Philips Technologies GmbH

Motivation

Oberflächenemittierende Halbleiterlaser, sogenannte Vertical Cavity Surface Emitting Lasers (VCSEL), entwickeln sich zu Schlüsselkomponenten für künftige Anwendungen in der optischen Datenübertragung, der Sicherheitstechnik, in industriellen Prozessen und optischer Sensorik. Bisher werden VCSEL aber nur in kleinen Stückzahlen und mit hohem manuellem Aufwand hergestellt, sodass diese künftige Schlüsselkomponente nicht in ausreichender Quantität und Qualität für sich abzeichnende Massenmärkte zur Verfügung steht.

Ziele und Vorgehen

Das Vorhaben „VCSEL Pilot Line for IR Illumination, Datacom and Power Applications“ (VIDaP) zielt darauf hin, diese Lücke zu schließen. In einer weltweit einzigartigen Pilotlinie soll der Reifegrad der Fertigung deutlich verbessert und eine industrielle Produktion erstmalig auf 200 mm-Wafern realisiert werden. Die Pilotlinie wird im europäischen Verbund länderübergreifend in Wales bei IQE (Epitaxie) und in Deutschland bei Philips in Ulm (Frontend-Prozesse und Backend) entstehen. Philips wird zudem neue Konzepte für die nächste Generation dieser Laserbauelemente entwickeln und mit den 9 Partnern im europäischen Verbund, darunter die Fa. Sick AG, die Nutzbarkeit der VCSEL-Technologie in vier Anwendungen – optische Datennetze, Sicherheitstechnik, Optische Sensorik und industrielle Fertigung – demonstrieren.

Innovationen und Perspektiven

Durch neuartige Bauelementkonzepte und Prozesstechnologien werden z. B. effizientere VCSEL mit bis zu 40 Gb/s Übertragungsgeschwindigkeit entwickelt, die neue Anwendungsfelder in der optischen Datenkommunikation erschließen. Die Pilotlinie wird die Marktposition der deutschen Partner, Philips Technologie als VCSEL-Hersteller und Sick AG als Marktführer für industrielle Sensorik, nachhaltig stärken und auf künftige Anforderungen vorbereiten.