PRISMA
Integrationsplattform für mikromechanische und -optische Elektroniksysteme auf Basis funktioneller Glasgehäuse
Motivation
Die Mikroelektronik ist eine Schlüsseltechnologie und Grundlage zahlreicher Innovationen der Digitalisierung. Kommende Generationen von Elektroniksystemen müssen gesteigerte Funktionalität sowie hohe Vernetzungsfähigkeit, Energieeffizienz und Zuverlässigkeit aufweisen. Dies erfordert eine immer stärkere Integration heterogener Bauteile auf möglichst immer kleinerem Raum. Um die Innovationsdynamik in der Mikroelektronik durch diese Multifunktionalität weiter zu steigern, müssen grundlegende Technologien der Systemintegration fortentwickelt und für die industrielle Herstellung künftiger Elektroniksysteme nutzbar ge-macht werden.
Ziele und Vorgehen
Ziel des Projekts ist die Entwicklung einer Technologieplattform mit funktionellen Glasgehäusen auf Waferebene. Diese soll den Aufbau opto-elektronischer und mikromechanischer Komponenten und Elektroniksysteme ermöglichen. Die Plattform wird so entwickelt, dass auf einer Leiterplatte alle Prozessschritte vom Wafer bis zur Montage definiert sind und ein Baukasten mit Wafertechnologien zur Verfügung steht. Dabei wird die Glasfließtechnologie eingesetzt: Damit können die optisch aktiven Grenzflächen der Glasgehäuse anwendungsspezifisch hergestellt werden. Mit beispielhaften Anwendungen aus den Bereichen Automotive und Visualisierungstechnik soll die entwickelte Plattform evaluiert und optimiert werden.
Innovationen und Perspektiven
Durch die Integration auf Waferebene haben gängige mikroelektromechanische Systeme bereits eine hohe Kompatibilität zu den etablierten Fertigungsverfahren der „klassischen“ Chipherstellung erreicht. Diese soll nun auch für optomechanische Komponenten realisiert werden, um perspektivisch die zunehmende Nachfrage seitens der Industrie zu bedienen.