MIIMOSYS

Technologien und Prozesse zur Heterointegration leistungselektronischer Systeme

Mikrotransferdruck
Der Mikrotransferdruck wird für die Herstellung effizienterer Leistungselektronik-Bauelemente auf Basis von Galliumnitrid genutzt.© ThorstenSchmitt / Fotolia.com

Motivation

Die Mikroelektronik ist eine Schlüsseltechnologie und Grundlage zahlreicher Innovationen der Digitalisierung. Kommende Generationen von Elektroniksystemen müssen gesteigerte Funktionalität sowie hohe Vernetzungsfähigkeit, Energieeffizienz und Zuverlässigkeit aufweisen. Dies erfordert eine immer stärkere Integration heterogener Bauteile auf möglichst immer kleinerem Raum. Um die Innovationsdynamik in der Mikroelektronik durch diese Multifunktionalität weiter zu steigern, müssen grundlegende Technologien der Systemintegration fortentwickelt und für die industrielle Herstellung künftiger Elektroniksysteme nutzbar gemacht werden.

Ziele und Vorgehen

Derzeit wird im EU-Projekt MICROPRINCE ein Druckverfahren, der Mikrotransferdruck, für die Mikroelektronik nutzbar gemacht. Es ermöglicht, digitale und analoge Komponenten auf einem Chip zu integrieren. Die so entstehenden elektronischen Bauelemente können so kostengünstiger und flexibler hergestellt werden. Ziel des Projektes MII-MOSYS ist es, dieses Verfahren auf die Leis-tungselektronik zu übertragen. Im Projekt wird die heterogene Systemintegration von Galliumnitrid (GaN)- und Silizium-CMOS-Schaltkreisen erforscht und in eine Technologieplattform überführt, um die Vorteile beider Technologien in einer hochkompakten Bauweise auf Systemebene zu vereinen. Dadurch entstehen Elektroniksysteme in ei-nem weiten Spannungs- und Leistungsbereich, die z. B. zur Steuerung von Elektroantrieben oder als LED-Treiber genutzt werden können.

Innovationen und Perspektiven

Die angestrebte Lösung verspricht besonders leistungsfähig und wirtschaftlich zu sein. Sie soll einem breiten Kundenkreis kostengünstig zugänglich gemacht werden. Damit entfaltet das Vorhaben eine große Hebelwirkung für eine breite industrielle Nutzung, insbesondere für neue Produkte kleiner und mittelständischer Unternehmen.