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Technologieplattform für hochkompakte Inertialsensoren mit integrierter Schaltungselektronik

Mann am Schreibtisch
Parametertest eines Elektroniksystems© EDC GmbH

Motivation

KMU bilden eine tragende Säule der deutschen Wirtschaft. Sie sind oft hochspezialisiert, wichtige Partner in Innovations- und Wertschöpfungsketten und Treiber des technischen Fortschritts. KMU-getriebene Innovationen im Bereich der „Elektroniksysteme“ tragen dazu bei, dass Deutschland seine Wettbewerbsfähigkeit als Produktions- und Entwicklungsstandort in den Anwenderbranchen elektronischer Systeme stärkt.

Ziele und Vorgehen

Im Vorhaben wird eine modular aufgebaute Technologieplattform mit integrierter Schaltungselektronik für innovative kompakte und energieeffiziente Hochleistungs-Breitbandsensoren entwickelt. Die vorwiegend mehrachsigen Sensorsysteme für die Erfassung von Beschleunigungs- und Rotationsbewegungen sollen in allen wichtigen Parametern – Bandbreite,  Auflösung, Stromaufnahme –  den Stand der Technik bestimmen. Mit ihrem modular erweiterbaren Funktionsumfang und variablen Aufbau sind sie in nahezu beliebigen Anwendungen einsetzbar. Im Projekt werden die dazu notwendigen Sensor- und Schaltungsstrukturen erforscht und bewertet sowie Prozess- und Verfahrenstechnologien für die Fertigung bei einem Halbleiter-Auftragsfertiger (Foundry) erforscht und erprobt. Die Funktionalität wird mit Hilfe anwendungsbezogener Demonstratoren nachgewiesen.

Innovationen und Perspektiven

Die entwickelten energieeffizienten Sensorsysteme verfügen über einen ausgeprägt breitbandigen Arbeitsbereich, der entsprechend der Anwendung skaliert werden kann. Mit Hilfe des modularen Ansatzes der Technologieplattform werden Hochleistungssensoren anpassungsfähiger und ermöglichen es zukünftig, applikationsspezifische Sen-sorsysteme zeit- und kosteneffizienter zu entwickeln.