ForMikro - NobleNEMS

Motivation

Die forschungsintensive Mikroelektronik und ihre Anwendungen sind branchenübergreifend Treiber für Fortschritt, Wettbewerb und Innovation. Um die Pipeline neuer Mikroelektronik gefüllt zu halten, soll neues Wissen in den Natur- und Ingenieurswissenschaften für künftige Mikroelektronik erschlossen werden. Im Mittelpunkt der Förderung von Hochschulen und außeruniversitären Forschungseinrichtungen stehen Themen, die zwar noch nicht industriell erforscht werden, für die aber ein nachgewiesenes Interesse aus der Industrie vorliegt. Die Brücke zwischen Grundlagenforschung und industriegeführter Forschung in der Mikroelektronik wird somit ausgebaut.

Ziele und Vorgehen

Im Projekt NobleNEMS werden neuartige hochempfindliche Drucksensoren auf Basis zweidimensionaler Edelmetallverbindungen und neuer Herstellungsprozesse erforscht. Theoetische Untersuchungen und erste Labortests zeigen vielversprechende elektromechanische Eigenschaften solcher zweidimensionaler Verbindungen. Im Projekt soll die Abscheidung auf größeren Waferflächen bei möglichst niedrigen Temperaturen erforscht werden. Damit soll der Nachweis erbracht werden, dass diese neuartige Technologie grundsätzlich auch mit den Standardprozessen der heutigen industriellen Halbleiterfertigung vereinbar ist, wobei die assoziierten Industriepartner das Konsortium unterstützen.

Innovationen und Perspektiven

Im Erfolgsfall eröffnen sich völlig neue Möglichkeiten zur Entwicklung von deutlich empfindlicheren und gleichzeitig widerstandsfähigeren Drucksensoren. Darüber hinaus dienen die neuen Erkenntnisse zur Verbesserung heutiger Sensoren, wie beispielsweise Beschleunigungssensoren oder Infrarotdetektoren, durch zweidimensionale Materialen.