ForMikro - FlexTMDSense
Erforschung neuartiger, flexibler Sensorsysteme auf Basis zweidimensionaler Materialsysteme
Motivation
Die forschungsintensive Mikroelektronik und ihre Anwendungen sind branchenübergreifend Treiber für Fortschritt, Wettbewerb und Innovation. Um die Pipeline neuer Mikroelektronik gefüllt zu halten, soll neues Wissen in den Natur- und Ingenieurswissenschaften für künftige Mikroelektronik erschlossen werden. Im Mittelpunkt der Förderung von Hochschulen und außeruniversitären Forschungseinrichtungen stehen Themen, die zwar noch nicht industriell erforscht werden, für die aber ein nachgewiesenes Interesse aus der Industrie vorliegt. Die Brücke zwischen Grundlagenforschung und industriegeführter Forschung in der Mikroelektronik wird somit ausgebaut.
Ziele und Vorgehen
Im Projekt FlexTMDSense werden ultradünne Gas- und pH-Sensoren auf Basis von zweidimensionalen Materialfilmen erforscht. Die Nutzung ultradünner Materialien ermöglicht die Herstellung von Sensoren auf flexiblen Substraten mit skalierbarer Größe und gleichzeitig erhöhter Empfindlichkeit. Für eine solche neue Sensorgeneration wird eine vollständige Prozess-kette entwickelt, die alle wichtigen Schritte von der Herstellung der sensorischen Schicht bis hin zum fertigen Sensor abdeckt. Die assoziierten Industriepartner unterstützen insbesondere die Vorbereitungen zum späteren Transfer in die kommerzielle Produktion.
Innovationen und Perspektiven
Durch den leichten und flexiblen Aufbau der Sensoren bieten sie sich insbesondere für einen Einsatz im Gesundheitsbereich und für intelligente Verpackungen an. Durch den kostengünstigen und ressourcenschonenden Ansatz ist eine hohe Breitenwirksamkeit in unterschiedlichsten Anwen-dungsbereichen, z. B. implantierbare Medizin-elektronik oder tragbare Elektroniksysteme („Wearables“), und damit eine Stärkung der Wettbewerbsfähigkeit Deutschlands zu erwarten.