Forschungslabor Mikroelektronik Bochum für 2D-Elektronik
In der forschungsintensiven Mikroelektronik stellen Hochschulen einen zentralen Innovationsfaktor dar. Forschung auf internationalem Spitzenniveau soll durch Investitionen in modernste Geräte und Anlagen an Hochschulen verstärkt ermöglicht werden. Zwölf „Forschungslabore Mikroelektronik Deutschland“ sollen neue Forschungsfelder für die Mikroelektronik der Zukunft erschließen und den wissenschaftlichen Nachwuchs mit hochmoderner Ausstattung ausbilden. Die „Forschungslabore Mikroelektronik Deutschland“ vernetzen sich untereinander und mit externen Partnern für einen besseren wissenschaftlichen Austausch und stärkere Kooperation.
Im Rahmen des ForLab PICT2DES soll ein Cluster-Tool für die Erforschung neuer 2D-Materialien, deren Verarbeitung sowie Integration in Systeme angeschafft werden. Die neue Anlage ermöglicht die Untersuchung unterschiedlicher Prozesse für die Herstellung hochsensibler 2D-Materialien. Die Herausforderungen sind dabei die fehlstellenarme Abscheidung und Strukturierung der Materialien sowie die Erhöhung der Zuverlässigkeit von Bauelementen und Systemen. Ziel ist es, neuartige Elektroniksysteme auf Basis der 2D-Integration zu entwickeln, die in zahlreichen zukunftsweisenden Bereichen Anwendung finden. Dadurch wird der Forschungsstandort Bochum auch weiterhin international auf Spitzenniveau agieren können.
2D-Materialien mit exzellenten elektrooptischen Eigenschaften haben großes Potenzial für neuartige Bauelemente der Mikro- und Optoelektronik sowie der Mikrosensorik. Beispiele sind unter anderem flexible Mikroelektronik, hochsensitive Sensoren sowie mikrofluidische Systeme für die Medizintechnik und Energiewandlung oder autonome Sensor-Arrays. Hierdurch profitiert der Produktionsstandort Deutschland langfristig.