ForLab FAMOS

Forschungslabor Mikroelektronik Cottbus-Senftenberg für siliziumbasierte Optoelektronik

Forscher und Forscherinnen in Reinraum.
Durch die Investitionen im ForLab FAMOS sollen zukünftig neue optoelektronische Bauelemente hergestellt werden, die auf der Integration neuer Materialien basieren.© TU Cottbus-Senftenberg

Motivation

In der forschungsintensiven Mikroelektronik stellen Hochschulen einen zentralen Innovationsfaktor dar. Forschung auf internationalem Spitzenniveau soll durch Investitionen in modernste Geräte und Anlagen an Hochschulen verstärkt ermöglicht werden. Zwölf „Forschungslabore Mikroelektronik Deutschland“ sollen neue Forschungsfelder für die Mikroelektronik der Zukunft erschließen und den wissenschaftlichen Nachwuchs mit hochmoderner Ausstattung ausbilden. Die „Forschungslabore Mikroelektronik Deutschland“ vernetzen sich untereinander und mit externen Partnern für einen besseren wissenschaftlichen Austausch und stärkere Kooperation.

Ziele und Vorgehen

Die neuen Anlagen im ForLab FAMOS werden  zur Integration neuer Materialien (die Halbleiter GeSn und SiGeSn, Oxide, zweidimensionale Materialien und Polymere) in eine ausgereifte Silizium-Plattform genutzt. Durch diese Integration neuer Materialien sollen innovative optoelektronische Bauelemente entstehen, insbesondere Sensoren und integrierte Lichtquellen, für optische Datenübertragung oder Biosensoren. Das ForLab FAMOS wird so die TU Cottbus-Senftenberg auch international auf Spitzenniveau im Forschungsbereich der optoelektronischen Bauelemente bringen.

Innovationen und Perspektiven

Elektrooptische Technologien können für eine schnellere und energieeffizientere Datenübertragung eingesetzt werden, und optische Biosensoren können spezifisch auf die Anwendungen konfiguriert werden. Die Einsatzmöglichkeiten reichen von Schnell- bzw. Vor-Ort-Tests in der Notfallmedizin (zur Erkennung einer Sepsis) über Self-Monitoring (Messung von Hormonwerten im Speichel) bis hin zu industrieller Prozessüberwachung (etwa der Nahrungsmittelqualität).