ForLab DiFeMiS

Motivation

In der forschungsintensiven Mikroelektronik sind Hochschulen ein zentraler Innovationsfaktor. Forschung auf internationalem Spitzenniveau soll durch Investitionen in modernste Geräte und Anlagen an Hochschulen verstärkt ermöglicht werden. Zwölf „Forschungslabore Mikroelektronik Deutschland“ sollen neue Forschungsfelder für die Mikroelektronik der Zukunft erschließen und den wissenschaftlichen Nachwuchs mit hochmoderner Ausstattung ausbilden. Die „Forschungslabore Mikroelektronik Deutschland“ vernetzen sich untereinander und mit externen Partnern für einen besseren wissenschaftlichen Austausch und stärkere Kooperation.

Ziele und Vorgehen

Im ForLab DiFeMiS werden Anlagen für additive und maskenlose Abscheide- und Strukturierungsverfahren zu einer flexibel einsetzbaren Druckplattform verbunden, um digitale Fertigungstechnologien und neuartige Konzepte für die Aufbau- und Verbindungstechnik von Terahertz-Mikroelektroniksystemen zu erforschen. Zusätzlich ermöglicht ein spezielles Messsystem die Bestimmung des Frequenzverhaltens von Zuleitungen und Anschlüssen bis 500 GHz. Dadurch wird am Forschungsstandort Karlsruhe Spitzenforschung an neuen Materialien, Einzelprozessen und Prozessablaufketten für die Aufbau- und Verbindungstechnik von Hochfrequenzsystemen ermöglicht. 

Innovationen und Perspektiven

In vielen Bereichen der Mikroelektronik werden Elektroniksysteme mit zunehmend höheren Schaltfrequenzen bis in den Terahertzbereich eingesetzt, die hohe Anforderungen an die Aufbau- und Verbindungstechnik stellen. Die flexible Druckplattform ermöglicht perspektivisch eine kostengünstige, additive Fertigungstechnologie für kleine und mittlere Stückzahlen. Dies ist insbesondere für KMU in den Bereichen Kommunikationssysteme und Sensorik interessant, sodass zukünftig auch ein schneller Transfer der Forschungsergebnisse in die Anwendung begünstigt wird.