1D-SENSE
Architekturen und Prozesse zur wirtschaftlichen Herstellung von Sensoren auf Basis von Nanodrähten und anderen 1D-Nanoobjekten
Motivation
Nanodrähte und andere eindimensionale (1D) Nanoobjekte haben in der grundlagenorientierten Forschung bereits verbesserte Sensoreigenschaften gezeigt. Bisher ist die Integration dieser Komponenten in kommerzielle Sensoren jedoch noch nicht möglich, da keine wirtschaft-lichen Verfahren zur Fertigung solcher Systeme existieren.
Ziele und Vorgehen
Das Ziel des wissenschaftlichen Verbundprojek-tes 1D-SENSE ist die Entwicklung einer Tech-nologieplattform zur wirtschaftlichen Herstellung von leistungsfähigen Sensoren auf Basis von 1D-Nanoobjekten. Bereits erprobte CMOS-kompatible Prozesse zur Herstellung einzelner Sensoren werden weiterentwickelt und hinsichtlich ihrer Tauglichkeit für die Massenfertigung evaluiert. Durch den Einsatz von parallel ge-schalteten 1D-Nanoobjekten in Sensorarchitek-turen sollen zudem eine Steigerung der Emp-findlichkeit und ein verbessertes Signal-zu-Rausch-Verhältnis der Sensoren erzielt werden.
Innovationen und Perspektiven
Mit dem Projekt wird im Bereich der Nanoobjektbasierten Sensorik die Brücke zwischen Grundlagenforschung und industrieller Umsetzung geschlagen. Bei erfolgreichem Projektabschluss werden erstmalig die Voraussetzungen geschaffen, hochspezialisierte Sensoren in großen Stückzahlen herstellen zu können - für die deutsche Sensorindustrie ein wichtiger Schritt, um sich in neuen Märkten wie z. B. der Sprengstoff, Toxin- oder Drogendetektion zu etablieren.